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《中国医疗器械杂志》是经科委、卫生部批准,在国内外正式出版发行的国家级技术刊物,已有40余年的历史。《中国医疗器械杂志》是国内首家医疗器械专业杂志,本刊编委会由国内生物医学工程界知名学者、专家等组成,以确保载文质量。本刊主要报导医疗器械和生物医学工程的开...
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本刊系经国家科委批准拥有国家新闻出版署颁发的国内刊号和国际刊号的正式期刊,国内外发行。
本刊为医疗器械领域的工程类刊物,主要面向从事生物医学工程和医疗器械研究、开发、设计、制造、使用、维修
基于MEMS技术的高密度视网膜假体微电极阵列的研制
作者: 冯刚 [1] ; 隋晓红 [1] ; 王昱 [1] ; 李刚 [2] ; 柴新禹 [1]
摘要:提出了一种基于MEMS技术设计和制作应用于视网膜假体的柔性神经微电极阵列的工艺流程.引入离子束刻蚀的工艺大幅度减小了导线和线间的宽度.在单层聚合物上制作了高密度的微电极阵列(120通道.10×12阵列)。对实际制得的微电极阵列测试表明,其在1kHz频率的电脉;中刺激下阻抗均值为16kΩ±2kΩ.相位差均值为-85°±3°,达到了预期设计目标。
关键字: 视觉假体 视网膜假体 微电极阵列 MEMS 高密度